EUV๊ด€๋ จ์ฃผ, ๋ฐ˜๋„์ฒด๊ตญ์‚ฐํ™”, ์—์Šค์•ค์—์Šคํ…, ๋™์ง„์Ž„๋ฏธ์ผ, HPSP, ์—ํ”„์—์Šคํ‹ฐ, ํŒŒํฌ์‹œ์Šคํ…œ์Šค, ์ด์˜คํ…Œํฌ๋‹‰์Šค, ASML, 2๋‚˜๋…ธ๋ฐ˜๋„์ฒด


"๋ฐ˜๋„์ฒด ์ดˆ๋ฏธ์„ธ ๊ณต์ •์˜ ์—ด์‡ ๋ฅผ ์ฅ” ์ž๊ฐ€ ์„ธ์ƒ์„ ์ง€๋ฐฐํ•œ๋‹ค." ์ด ๋ง์€ ๊ณผ์žฅ์ด ์•„๋‹™๋‹ˆ๋‹ค. ์‚ผ์„ฑ์ „์ž์™€ SKํ•˜์ด๋‹‰์Šค๊ฐ€ TSMC๋ฅผ ๋„˜์–ด์„œ๊ธฐ ์œ„ํ•ด ์‚ฌํ™œ์„ ๊ฑฐ๋Š” ๋‹จ ํ•˜๋‚˜์˜ ์˜์—ญ, ๋ฐ”๋กœ EUV(Extreme Ultraviolet, ๊ทน์ž์™ธ์„ ) ๊ณต์ •์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ๋จธ๋ฆฌ์นด๋ฝ ๊ตต๊ธฐ์˜ ์ˆ˜๋งŒ ๋ถ„์˜ ์ผ์— ๋ถˆ๊ณผํ•œ ํšŒ๋กœ๋ฅผ ๊ทธ๋ฆฌ๊ธฐ ์œ„ํ•ด ๋Œ€๋‹น ์ˆ˜์ฒœ์–ต ์›์„ ํ˜ธ๊ฐ€ํ•˜๋Š” ASML์˜ ์žฅ๋น„ ์•ž์—์„œ ์šฐ๋ฆฌ ๊ธฐ์—…๋“ค์€ ์ค„์„ ์„œ์•ผ๋งŒ ํ–ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ํ•˜์ง€๋งŒ ์ด์ œ ์ƒํ™ฉ์ด ๋ฐ”๋€Œ๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์žฅ๋น„์˜ ๋ถ€ํ’ˆ๋ถ€ํ„ฐ ์†Œ์žฌ, ๊ฒ€์‚ฌ ์†”๋ฃจ์…˜์— ์ด๋ฅด๊ธฐ๊นŒ์ง€ ํ•œ๊ตญ ๊ฐ•์†Œ๊ธฐ์—…๋“ค์˜ 'EUV ๊ตญ์‚ฐํ™”'๊ฐ€ ๋ณธ๊ถค๋„์— ์˜ฌ๋ž๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

EUV ๊ธฐ์ˆ ์€ ์ง„์ž…์žฅ๋ฒฝ์ด ์›Œ๋‚™ ๋†’์•„ '์‹ (็ฅž)์˜ ์˜์—ญ'์ด๋ผ ๋ถˆ๋ฆฝ๋‹ˆ๋‹ค. ํ•˜์ง€๋งŒ ๊ตญ์‚ฐํ™”์— ์„ฑ๊ณตํ•˜๋Š” ์ˆœ๊ฐ„, ๊ทธ ๊ธฐ์—…์€ ๋‹จ์ˆœํ•œ ํ˜‘๋ ฅ์‚ฌ๋ฅผ ๋„˜์–ด ๊ธ€๋กœ๋ฒŒ ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ณต๊ธ‰๋ง์˜ ๋Œ€์ฒด ๋ถˆ๊ฐ€๋Šฅํ•œ ์ฃผ์—ญ์œผ๋กœ ๊ฒฉ์ƒ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์˜ค๋Š˜ ์ €๋Š” ์—ฌ๋Ÿฌ๋ถ„์ด ์†Œ๋ฌธ๋‚œ ํ…Œ๋งˆ์ฃผ์— ํœ˜๋‘˜๋ฆฌ์ง€ ์•Š๊ณ , ์‹ค์ œ ์‚ผ์„ฑ๊ณผ ํ•˜์ด๋‹‰์Šค์˜ EUV ๋ผ์ธ์— ํˆฌ์ž…๋˜๋Š” ์ง„์ •ํ•œ ์•Œ์งœ ์ˆ˜ํ˜œ์ฃผ๋ฅผ ์„ ๋ณ„ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋„๋ก ์ „๋ฌธ๊ฐ€์˜ ์‹œ์„ ์œผ๋กœ ์กฐ๊ณค์กฐ๊ณค ๋ถ„์„ํ•ด ๋“œ๋ฆฌ๊ฒ ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ด ์•„ํ‹ฐํด์€ ๋‚ด์ผ์˜ ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ถŒ๋ ฅ์„ ๋ฏธ๋ฆฌ ์—ฟ๋ณด๋Š” ๊ฐ€์žฅ ๋ช…ํ™•ํ•œ ํˆฌ์ž ์ง€๋„๊ฐ€ ๋  ๊ฒƒ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

1. ๐Ÿ—️ EUV ๊ณต์ •์˜ ๋ณธ์งˆ: ์™œ 2๋‚˜๋…ธ ์‹œ๋Œ€์— ๊ทน์ž์™ธ์„ ์ด ํ•„์ˆ˜์ธ๊ฐ€?

๋ฐ˜๋„์ฒด์˜ ์„ฑ๋Šฅ์€ ํ•œ์ •๋œ ์›จ์ดํผ ๊ณต๊ฐ„ ์•ˆ์— ์–ผ๋งˆ๋‚˜ ๋งŽ์€ ์†Œ์ž๋ฅผ ์ด˜์ด˜ํžˆ ๋•Œ๋ ค ๋ฐ•๋А๋ƒ์— ๊ฒฐ์ •๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๊ธฐ์กด์— ์‚ฌ์šฉํ•˜๋˜ ArF(๋ถˆํ™”์•„๋ฅด๊ณค) ๊ด‘์›์€ ํŒŒ์žฅ์˜ ๊ธธ์ด๊ฐ€ 193nm๋กœ ๊ธธ์–ด์„œ, 7๋‚˜๋…ธ ์ดํ•˜์˜ ๋ฏธ์„ธํ•œ ํšŒ๋กœ๋ฅผ ๊ทธ๋ฆฌ๊ธฐ์—” ๋ถ“์ด ๋„ˆ๋ฌด ๊ตต์€ ๊ฒฉ์ด์—ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋ฐ˜๋ฉด EUV๋Š” ํŒŒ์žฅ์˜ ๊ธธ์ด๊ฐ€ 13.5nm์— ๋ถˆ๊ณผํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋งˆ์น˜ ๊ฑฐ์นœ ๋งค์งํŽœ์œผ๋กœ ๊ทธ๋ฆฌ๋˜ ํšŒ๋กœ๋ฅผ ์•„์ฃผ ์ •๊ตํ•œ ์ƒคํ”„์‹ฌ์œผ๋กœ ๊ทธ๋ฆฌ๋Š” ํ˜๋ช…์ ์ธ ๋ณ€ํ™”์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

ํ•˜์ง€๋งŒ EUV๋Š” ๋ชจ๋“  ๋ฌผ์งˆ์— ํก์ˆ˜๋˜์–ด๋ฒ„๋ฆฌ๋Š” ๊ณ ์•ฝํ•œ ์„ฑ์งˆ์ด ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๊ทธ๋ž˜์„œ ๊ธฐ์กด์˜ ๋ Œ์ฆˆ ๋ฐฉ์‹์ด ์•„๋‹Œ ๊ฑฐ์šธ์„ ์ด์šฉํ•œ ๋ฐ˜์‚ฌ ๋ฐฉ์‹์„ ์จ์•ผ ํ•˜๊ณ , ์žฅ๋น„ ๋‚ด๋ถ€๋ฅผ ์™„๋ฒฝํ•œ ์ง„๊ณต ์ƒํƒœ๋กœ ์œ ์ง€ํ•ด์•ผ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋‚ด๊ฐ€ ์ƒ๊ฐํ–ˆ์„ ๋•Œ๋Š”, ASML์ด ์ด ์žฅ๋น„๋ฅผ ๋…์ ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์—ˆ๋˜ ์ด์œ ๋Š” ๋‹จ์ˆœํžˆ ๊ด‘ํ•™ ๊ธฐ์ˆ  ๋•Œ๋ฌธ์ด ์•„๋‹ˆ๋ผ ์ด ๋ณต์žกํ•œ ํ™˜๊ฒฝ ์ œ์–ด ๋ฉ”์ปค๋‹ˆ์ฆ˜์„ ์™„์„ฑํ–ˆ๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์ด์ œ ์šฐ๋ฆฌ ๊ตญ์‚ฐํ™” ๊ธฐ์—…๋“ค์€ ์ด '๋ฐ˜์‚ฌํ˜• ๊ตฌ์กฐ'์— ๋“ค์–ด๊ฐ€๋Š” ํŠน์ˆ˜ ์†Œ์žฌ์™€ ๋ณดํ˜ธ๋ง‰, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ  ์—ด ์ œ์–ด ์‹œ์Šคํ…œ์—์„œ ์„ธ๊ณ„์ ์ธ ๊ฒฝ์Ÿ๋ ฅ์„ ์ฆ๋ช…ํ•˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

๐Ÿ“Š ๋…ธ๊ด‘ ๊ธฐ์ˆ ๋ณ„ ์„ธ๋Œ€ ์ง„ํ™” ๋ฐ ํŠน์ง• ๋น„๊ต

๊ตฌ๋ถ„ ArF ๋…ธ๊ด‘ (๊ธฐ์กด) EUV ๋…ธ๊ด‘ (์ฐจ์„ธ๋Œ€) ๊ฒฝ์ œ์  ๊ฐ€์น˜ ๐Ÿš€
ํŒŒ์žฅ ๊ธธ์ด 193nm 13.5nm 14๋ฐฐ ์ด์ƒ์˜ ์ •๋ฐ€๋„ ํ™•๋ณด
๊ณต์ • ๋‹จ๊ณ„ ๋ฉ€ํ‹ฐ ํŒจํ„ฐ๋‹ (๋ณต์žก) ์‹ฑ๊ธ€ ํŒจํ„ฐ๋‹ (๋‹จ์ˆœํ™”) ๊ณต์ • ์‹œ๊ฐ„ ๋ฐ ๋น„์šฉ ์ ˆ๊ฐ
๊ด‘ํ•™ ๊ตฌ์กฐ ํˆฌ๊ณผํ˜• (๋ Œ์ฆˆ) ๋ฐ˜์‚ฌํ˜• (๊ฑฐ์šธ) ์™„์ „ํžˆ ์ƒˆ๋กœ์šด ๋ถ€ํ’ˆ ์ƒํƒœ๊ณ„
์ฃผ์š” ์ ์šฉ 10nm ์ด์ƒ ๋ฒ”์šฉ ์นฉ 7nm ~ 2nm ์ตœ์ฒจ๋‹จ ์นฉ HBM ๋ฐ ์ตœ์‹  AP ํ•„์ˆ˜ ๊ณต์ •

EUV ๊ณต์ •์˜ ๋„์ž…์€ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ œ์กฐ ๋น„์šฉ์˜ ๋น„์•ฝ์ ์ธ ์ƒ์Šน์„ ์ดˆ๋ž˜ํ–ˆ์ง€๋งŒ, ์—ญ์„ค์ ์œผ๋กœ ์„ฑ๋Šฅ ํšจ์œจ์„ ๊ทน๋Œ€ํ™”ํ•˜์—ฌ AI ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‹œ๋Œ€๋ฅผ ์—ด์—ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. HBM3E๋‚˜ ์ฐจ์„ธ๋Œ€ AI ๊ฐ€์†๊ธฐ๋ฅผ ์ƒ์‚ฐํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด์„œ๋Š” EUV ์žฅ๋น„ ์—†์ด๋Š” ํ•œ ๋ฐœ์ž๊ตญ๋„ ๋‚˜๊ฐˆ ์ˆ˜ ์—†์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋”ฐ๋ผ์„œ ์žฅ๋น„ ๊ตญ์‚ฐํ™”๋Š” ๋‹จ์ˆœํ•œ ์›๊ฐ€ ์ ˆ๊ฐ์„ ๋„˜์–ด, ๊ตญ๊ฐ€ ์ฐจ์›์˜ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์•ˆ๋ณด์™€ ๊ธฐ์ˆ  ์ž๋ฆฝ์„ ์œ„ํ•œ ์ตœ์šฐ์„  ๊ณผ์ œ๊ฐ€ ๋˜์—ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

2. ๐Ÿ›ก️ ๋ธ”๋žญํฌ๋งˆ์Šคํฌ์™€ ํŽ ๋ฆฌํด: ์—์Šค์•ค์—์Šคํ…๊ณผ ์—ํ”„์—์Šคํ‹ฐ์˜ ์ˆ™๋ช…

EUV ๊ณต์ •์—์„œ ๊ฐ€์žฅ ๋จผ์ € ํ•ด๊ฒฐํ•ด์•ผ ํ•  ๊ตญ์‚ฐํ™” ๊ณผ์ œ๋Š” ์†Œ๋ชจํ’ˆ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ๊ทธ์ค‘์—์„œ๋„ '๋ธ”๋žญํฌ๋งˆ์Šคํฌ'๋Š” ํšŒ๋กœ ํŒจํ„ด์„ ๊ทธ๋ฆฌ๊ธฐ ์ „์˜ ๊นจ๋—ํ•œ ๋งˆ์Šคํฌ ํŒ์„ ๋งํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. **์—์Šค์•ค์—์Šคํ…**์€ ์ผ๋ณธ ๊ธฐ์—…๋“ค์ด ์žฅ์•…ํ•˜๋˜ ์ด ์‹œ์žฅ์— ๋„์ „์žฅ์„ ๋‚ด๋ฐ€์–ด EUV์šฉ ๋ธ”๋žญํฌ๋งˆ์Šคํฌ ๊ตญ์‚ฐํ™”์˜ ์„ ๋ด‰์— ์„œ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋†’์€ ํˆฌ๊ณผ์œจ๊ณผ ์—ด์  ์•ˆ์ •์„ฑ์„ ํ™•๋ณดํ•ด์•ผ ํ•˜๋Š” ์ด ๊ธฐ์ˆ ์€ ํŒน๋ฆฌ์Šค์™€ ํŒŒ์šด๋“œ๋ฆฌ๋ฅผ ์ž‡๋Š” ํ•ต์‹ฌ ์ง•๊ฒ€๋‹ค๋ฆฌ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

๋˜ํ•œ **์—ํ”„์—์Šคํ‹ฐ(FST)**๋Š” 'ํŽ ๋ฆฌํด'์ด๋ผ ๋ถˆ๋ฆฌ๋Š” ๋ณดํ˜ธ๋ง‰ ๊ตญ์‚ฐํ™”์˜ ์ฃผ์—ญ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. EUV ๋งˆ์Šคํฌ๋Š” ๊ฐ€๊ฒฉ์ด ์ˆ˜์–ต ์›์— ๋‹ฌํ•˜๋Š”๋ฐ, ๋จผ์ง€ ํ•˜๋‚˜๋ผ๋„ ๋ฌป์œผ๋ฉด ํŒจํ„ด์ด ๋ง๊ฐ€์ง‘๋‹ˆ๋‹ค. ํŽ ๋ฆฌํด์€ ์ด ๋งˆ์Šคํฌ๋ฅผ ๋ฎ์–ด ๋ณดํ˜ธํ•˜๋Š” ์–‡์€ ๋ง‰์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ๋‚ด๊ฐ€ ์ƒ๊ฐํ–ˆ์„ ๋•Œ๋Š”, EUV ๊ด‘์›์ด ํŽ ๋ฆฌํด์„ ๋‘ ๋ฒˆ ํ†ต๊ณผํ•˜๋ฉด์„œ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ์—๋„ˆ์ง€ ์†์‹ค์„ ์ตœ์†Œํ™”ํ•˜๋Š” ๊ธฐ์ˆ ์ด์•ผ๋ง๋กœ ์—ํ”„์—์Šคํ‹ฐ๊ฐ€ ๊ฐ€์ง„ ์ง„์ •ํ•œ ์ „๋งคํŠนํ—ˆ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์ด ๋‘ ๊ธฐ์—…์˜ ์„ฑ๊ณต ์—ฌ๋ถ€๊ฐ€ ์‚ผ์„ฑ์ „์ž์˜ EUV ์ˆ˜์œจ ์•ˆ์ •ํ™”์— ์ง๊ฒฐ๋œ๋‹ค๊ณ  ํ•ด๋„ ๊ณผ์–ธ์ด ์•„๋‹™๋‹ˆ๋‹ค.

๐Ÿ›ก️ EUV ๋งˆ์Šคํฌ ๋ฐ ๋ณดํ˜ธ ์†”๋ฃจ์…˜ ์ˆ˜ํ˜œ์ฃผ

๊ธฐ์—…๋ช… ํ•ต์‹ฌ ์ œํ’ˆ ๊ตญ์‚ฐํ™” ์ง„ํ–‰ ๋‹จ๊ณ„ ํˆฌ์ž ํฌ์ธํŠธ ๐ŸŽฏ
์—์Šค์•ค์—์Šคํ… EUV ๋ธ”๋žญํฌ๋งˆ์Šคํฌ ์–‘์‚ฐ ๋ผ์ธ ๊ตฌ์ถ• ๋ฐ ์ƒ˜ํ”Œ ํ…Œ์ŠคํŠธ ์ผ๋ณธ ํ˜ธ์•ผ(HOYA) ๋Œ€์ฒด ์ˆ˜์š” ํ™•๋ณด
์—ํ”„์—์Šคํ‹ฐ EUV ํŽ ๋ฆฌํด ๊ณ ํˆฌ๊ณผ์œจ(90% ์ด์ƒ) ์ œํ’ˆ ๊ฐœ๋ฐœ ASML ์žฅ๋น„ ํ˜ธํ™˜ ์ธ์ฆ ๋ฐ ๊ณ ๊ฐ์‚ฌ ํ™•๋Œ€
SNSํ…(์ค‘๋ณต๋ฐฉ์ง€) - ํˆฌ๊ณผ์œจ ๋ฐ ์•ˆ์ •์„ฑ ํ™•๋ณด ์ฃผ๋ ฅ ์‚ผ์„ฑ์ „์ž์˜ ์ง€๋ถ„ ํˆฌ์ž ํŒŒํŠธ๋„ˆ์‹ญ

ํŽ ๋ฆฌํด์€ ์†Œ๋ชจํ’ˆ์ด๋ผ๋Š” ํŠน์„ฑ ๋•Œ๋ฌธ์— ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ƒ์‚ฐ๋Ÿ‰์ด ๋Š˜์–ด๋‚ ์ˆ˜๋ก ๋งค์ถœ์ด ์ •๋น„๋ก€ํ•˜์—ฌ ์ฆ๊ฐ€ํ•˜๋Š” 'ํ˜„๊ธˆ ํ๋ฆ„์˜ ์—ฌ์™•'์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ํ˜„์žฌ๊นŒ์ง€๋Š” ํŽ ๋ฆฌํด ์—†์ด ๊ณต์ •์„ ์ง„ํ–‰ํ•˜๋Š” ๊ฒฝ์šฐ๋„ ์žˆ์ง€๋งŒ, 2๋‚˜๋…ธ ์ดํ•˜์˜ ๊ณ ์ •๋ฐ€ ๊ณต์ •์œผ๋กœ ๊ฐˆ์ˆ˜๋ก ๋งˆ์Šคํฌ ์†์ƒ์„ ๋ฐฉ์ง€ํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•œ ํŽ ๋ฆฌํด ์ฑ„ํƒ์€ ์„ ํƒ์ด ์•„๋‹Œ ํ•„์ˆ˜๊ฐ€ ๋  ๊ฒƒ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์ด ๊ฑฐ๋Œ€ํ•œ ์ „ํ™˜์ ์—์„œ ๊ตญ์‚ฐํ™” ์„ ๋‘ ์ฃผ์ž๋“ค์˜ ๋ฐธ๋ฅ˜์—์ด์…˜ ์žฌํ‰๊ฐ€๋Š” ํ•„์—ฐ์ ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

3. ๐Ÿงช ์†Œ์žฌ์˜ ํ˜์‹  PR: ๋™์ง„์Ž„๋ฏธ์ผ์ด ๊ทธ๋ฆฌ๋Š” ํฌํ† ๋ ˆ์ง€์ŠคํŠธ์˜ ๋ฏธ๋ž˜

๋…ธ๊ด‘ ๊ณต์ •์˜ ํ™”๋ฃก์ ์ •์€ 'ํฌํ† ๋ ˆ์ง€์ŠคํŠธ(PR, ๊ฐ๊ด‘์•ก)'์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์›จ์ดํผ ์œ„์— ๋ฐ”๋ฅด๋Š” ํŠน์ˆ˜ ํ™”ํ•™ ์•ฝํ’ˆ์œผ๋กœ, ๋น›์„ ๋ฐ›์œผ๋ฉด ์„ฑ์งˆ์ด ๋ณ€ํ•ด ํšŒ๋กœ๋ฅผ ๋‚จ๊ธฐ๋Š” ์—ญํ• ์„ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ง€๋‚œ 2019๋…„ ์ผ๋ณธ์˜ ์ˆ˜์ถœ ๊ทœ์ œ ๋‹น์‹œ ๊ฐ€์žฅ ํฐ ํƒ€๊ฒฉ์„ ์ž…์—ˆ๋˜ ํ’ˆ๋ชฉ์ด๊ธฐ๋„ ํ•˜์ฃ . ํ•˜์ง€๋งŒ **๋™์ง„์Ž„๋ฏธ์ผ**์€ ๋ถˆ๊ตด์˜ ์˜์ง€๋กœ EUV์šฉ ํฌํ† ๋ ˆ์ง€์ŠคํŠธ ๊ตญ์‚ฐํ™”์— ์„ฑ๊ณตํ•˜๋ฉฐ ํ•œ๊ตญ ๋ฐ˜๋„์ฒด์˜ ์ž์กด์‹ฌ์„ ์ง€์ผฐ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

๋™์ง„์Ž„๋ฏธ์ผ์˜ ๊ฐ•์ ์€ ๋‹จ์ˆœํžˆ ์ œํ’ˆ ํ•˜๋‚˜๋ฅผ ๋งŒ๋“œ๋Š” ๊ฒƒ์ด ์•„๋‹ˆ๋ผ, ์›์žฌ๋ฃŒ๋ถ€ํ„ฐ ์ตœ์ข… ๋ฐฐํ•ฉ๊นŒ์ง€ ์ˆ˜์ง ๊ณ„์—ดํ™”๋ฅผ ์ด๋ฃจ๋ ค ํ•œ๋‹ค๋Š” ์ ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ๋‚ด๊ฐ€ ์ƒ๊ฐํ–ˆ์„ ๋•Œ๋Š”, ์ฐจ์„ธ๋Œ€ ๊ธฐ์ˆ ์ธ '๋ฌด๊ธฐ๋ฌผ PR(Inorganic PR)' ์‹œ์žฅ์—์„œ๋„ ๋™์ง„์Ž„๋ฏธ์ผ์ด ๊ธ€๋กœ๋ฒŒ ์—…์ฒด๋“ค๊ณผ ์–ด๊นจ๋ฅผ ๋‚˜๋ž€ํžˆ ํ•  ๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ์ด ๋งค์šฐ ๋†’์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋ฌด๊ธฐ๋ฌผ PR์€ ๊ธฐ์กด ์œ ๊ธฐ๋ฌผ ๋ฐฉ์‹๋ณด๋‹ค ํšŒ๋กœ์˜ ๋ถ•๊ดด๋ฅผ ๋ง‰๋Š” ํž˜์ด ๊ฐ•ํ•ด ํ•˜์ด-NA(High-NA) EUV ์‹œ๋Œ€๋ฅผ ์—ด ํ•ต์‹ฌ ์†Œ์žฌ๋กœ ํ‰๊ฐ€๋ฐ›์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

๐Ÿงช EUV ํ•ต์‹ฌ ํ™”ํ•™ ์†Œ์žฌ ๋ฐธ๋ฅ˜์ฒด์ธ

๋ถ„์•ผ ์ฃผ์š” ๊ธฐ์ˆ  ๋Œ€ํ‘œ ๊ธฐ์—… ํŠน์ง• ๐Ÿ’Ž
ํฌํ† ๋ ˆ์ง€์ŠคํŠธ EUV ๊ฐ๊ด‘์•ก ํ•ฉ์„ฑ ๋™์ง„์Ž„๋ฏธ์ผ ๊ตญ์‚ฐํ™” ์„ฑ๊ณต ๋ฐ ๊ณต๊ธ‰๋Ÿ‰ ํ™•๋Œ€ ์ค‘
ํŠน์ˆ˜ ๊ฐ€์Šค ๊ณต์ •์šฉ ๊ณ ์ˆœ๋„ ๊ฐ€์Šค SK๋จธํ‹ฐ๋ฆฌ์–ผ์ฆˆ(๋น„์ƒ์žฅ) ๊ณต์ • ๋ฏธ์„ธํ™”์— ๋”ฐ๋ฅธ ํˆฌ์ž…๋Ÿ‰ ์ฆ๊ฐ€
์ „๊ตฌ์ฒด ์ฆ์ฐฉ์šฉ ์†Œ์žฌ ๋””์—”์—ํ”„ / ์†”๋ธŒ๋ ˆ์ธ ์†Œ์žฌ ๋‹ค๋ณ€ํ™”๋ฅผ ํ†ตํ•œ ๊ธฐ์ˆ  ๋‚ด์žฌํ™”

์†Œ์žฌ ์‚ฐ์—…์€ ์ง„์ž…์€ ์–ด๋ ต์ง€๋งŒ, ํ•œ ๋ฒˆ ๊ณต๊ธ‰๋ง(Supply Chain)์— ๋“ค์–ด๊ฐ€๋ฉด ์›ฌ๋งŒํ•ด์„œ๋Š” ๋ฐ”๋€Œ์ง€ ์•Š๋Š” ๊ฒฌ๊ณ ํ•œ ํŠน์„ฑ์ด ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋™์ง„์Ž„๋ฏธ์ผ์€ ์‚ผ์„ฑ์ „์ž์˜ ๋“ ๋“ ํ•œ ํŒŒํŠธ๋„ˆ๋กœ์„œ EUV ๋ผ์ธ์˜ ๊ฐ€๋™๋ฅ  ์ƒ์Šน์— ๋”ฐ๋ฅธ ์ง์ ‘์ ์ธ ์ˆ˜ํ˜œ๋ฅผ ์ž…๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ํŠนํžˆ ์†Œ์žฌ์˜ ๊ตญ์‚ฐํ™”์œจ์ด ๋†’์•„์งˆ์ˆ˜๋ก ์ง€์ •ํ•™์  ๋ฆฌ์Šคํฌ๋กœ๋ถ€ํ„ฐ ์ž์œ ๋กœ์›Œ์ง€๋Š” ์ œ์กฐ์‚ฌ๋“ค์ด ๊ตญ์‚ฐ ์†Œ์žฌ ๋น„์ค‘์„ ๊ณต๊ฒฉ์ ์œผ๋กœ ๋Š˜๋ฆฌ๊ณ  ์žˆ๋‹ค๋Š” ์ ์€ ๋งค์šฐ ๊ธ์ •์ ์ธ ์‹ ํ˜ธ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

4. ๐Ÿ” ๊ฒ€์‚ฌ ๋ฐ ๊ณ„์ธก์˜ ์ •์ : ํŒŒํฌ์‹œ์Šคํ…œ์Šค์™€ ์ด์˜คํ…Œํฌ๋‹‰์Šค์˜ ๊ธฐ์ˆ ๋ ฅ

ํšŒ๋กœ๊ฐ€ ๋‚˜๋…ธ ๋‹จ์œ„๋กœ ๋ฏธ์„ธํ•ด์ง€๋ฉด ๋ˆˆ์œผ๋กœ ํ™•์ธํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์€ ๋ถˆ๊ฐ€๋Šฅํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ด๋•Œ ํ•„์š”ํ•œ ๊ฒƒ์ด ์›์ž ๋‹จ์œ„๊นŒ์ง€ ์ธก์ •ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ์›์žํ˜„๋ฏธ๊ฒฝ(AFM)์ž…๋‹ˆ๋‹ค. **ํŒŒํฌ์‹œ์Šคํ…œ์Šค**๋Š” ์ „ ์„ธ๊ณ„ ์‚ฐ์—…์šฉ ์›์žํ˜„๋ฏธ๊ฒฝ ์‹œ์žฅ์„ ์ œํŒจํ•œ ๊ธฐ์—…์œผ๋กœ, EUV ๋งˆ์Šคํฌ์˜ ๊ฒฐํ•จ์„ ์ฐพ์•„๋‚ด๊ณ  ์ˆ˜๋ฆฌํ•˜๋Š” ๊ณต์ •์—์„œ ๋…๋ณด์ ์ธ ๊ธฐ์ˆ ๋ ฅ์„ ์ž๋ž‘ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋น„์ ‘์ด‰์‹ ์ธก์ • ๋ฐฉ์‹์€ ์›จ์ดํผ ์†์ƒ์„ ์ตœ์†Œํ™”ํ•ด์•ผ ํ•˜๋Š” EUV ๊ณต์ •์˜ ํŠน์„ฑ๊ณผ ์™„๋ฒฝํ•˜๊ฒŒ ๋ถ€ํ•ฉํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

๋˜ํ•œ **์ด์˜คํ…Œํฌ๋‹‰์Šค**๋Š” ๋ ˆ์ด์ € ๊ธฐ์ˆ ์„ ๊ธฐ๋ฐ˜์œผ๋กœ EUV ๊ณต์ • ์ „ํ›„์˜ ์›จ์ดํผ ๊ฐ€๊ณต๊ณผ ๋งˆํ‚น์„ ๋‹ด๋‹นํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋‚ด๊ฐ€ ์ƒ๊ฐํ–ˆ์„ ๋•Œ๋Š”, ์ด์˜คํ…Œํฌ๋‹‰์Šค์˜ '๋ ˆ์ด์ € ์–ด๋‹๋ง' ์žฅ๋น„๊ฐ€ ๋ฏธ์„ธ ๊ณต์ •์—์„œ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ์›จ์ดํผ์˜ ๋’คํ‹€๋ฆผ์„ ์žก์•„์ฃผ๋Š” ํ•ต์‹ฌ ์—ญํ• ์„ ์ˆ˜ํ–‰ํ•˜๋ฉด์„œ ์ด๋“ค์˜ ์œ„์ƒ์€ ๋‹จ์ˆœํ•œ ์žฅ๋น„์‚ฌ๋ฅผ ๋„˜์–ด '๊ณต์ • ํ•ด๊ฒฐ์‚ฌ'๋กœ ๊ฒฉ์ƒ๋˜์—ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๊ฒ€์‚ฌ์™€ ๊ณ„์ธก์€ ์ˆ˜์œจ(Yield)๊ณผ ์ง๊ฒฐ๋˜๋Š” ๋ฌธ์ œ์ด๊ธฐ์—, ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ œ์กฐ์‚ฌ๋“ค์€ ์ด๋“ค์˜ ์†”๋ฃจ์…˜์— ๊ธฐ๊บผ์ด ๋†’์€ ํ”„๋ฆฌ๋ฏธ์—„์„ ์ง€๋ถˆํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

๐Ÿ” EUV ์ˆ˜์œจ ํ–ฅ์ƒ์„ ์œ„ํ•œ ๊ณ„์ธก/์žฅ๋น„ ํ•ต์‹ฌ์ฃผ

๊ธฐ์—…๋ช… ์ฃผ๋ ฅ ๊ธฐ์ˆ  EUV ๊ณต์ • ๋‚ด ์—ญํ•  ์„ฑ์žฅ ๋ชจ๋ฉ˜ํ…€ ๐Ÿ“ˆ
ํŒŒํฌ์‹œ์Šคํ…œ์Šค ์›์žํ˜„๋ฏธ๊ฒฝ (AFM) ๋‚˜๋…ธ ๋‹จ์œ„ ํ‘œ๋ฉด ๊ฒฐํ•จ ๊ณ„์ธก EUV ๋งˆ์Šคํฌ ๋ฆฌํŽ˜์–ด ์žฅ๋น„ ์‹œ์žฅ ๋…์ 
์ด์˜คํ…Œํฌ๋‹‰์Šค ๋ ˆ์ด์ € ๊ฐ€๊ณต ์„ค๋น„ ์›จ์ดํผ ์–ด๋‹๋ง ๋ฐ ๋“œ๋ฆด๋ง EUV ๊ณต์ • ์—ด์ฒ˜๋ฆฌ ๋ฐ ์ˆ˜์œจ ๊ด€๋ฆฌ
์˜ค๋กœ์Šคํ…Œํฌ๋†€๋กœ์ง€ ์˜ค๋ฒ„๋ ˆ์ด ๊ณ„์ธก ์žฅ๋น„ ํšŒ๋กœ ํŒจํ„ด ์ธต๊ฐ„ ์ •๋ ฌ ํ™•์ธ ๊ตญ๋‚ด ์œ ์ผ ์˜ค๋ฒ„๋ ˆ์ด ์žฅ๋น„ ๊ตญ์‚ฐํ™”

๊ธฐ์ˆ ์˜ ์ •์ ์— ์žˆ๋Š” ๊ฒ€์‚ฌ ์žฅ๋น„์‚ฌ๋“ค์€ ๋†’์€ ์˜์—…์ด์ต๋ฅ ์„ ๊ธฐ๋กํ•˜๋Š” ํŠน์ง•์ด ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ํŒŒํฌ์‹œ์Šคํ…œ์Šค์˜ ๊ฒฝ์šฐ ๋…๋ณด์ ์ธ ๊ธฐ์ˆ  ์žฅ๋ฒฝ์„ ๋ฐ”ํƒ•์œผ๋กœ ์ œ์กฐ์—…์œผ๋กœ์„œ๋Š” ๋ฏฟ๊ธฐ ํž˜๋“  ์ˆ˜์ค€์˜ ์ด์ต๋ฅ ์„ ๋ณด์—ฌ์ค๋‹ˆ๋‹ค. EUV ๊ณต์ •์ด ๋ฉ”๋ชจ๋ฆฌ(D๋žจ)๋ฅผ ๋„˜์–ด ํŒŒ์šด๋“œ๋ฆฌ ์ „ ์˜์—ญ์œผ๋กœ ํ™•๋Œ€๋ ์ˆ˜๋ก, ์ด๋“ค ๊ฒ€์‚ฌ ๋ฐ ๊ณ„์ธก ๊ธฐ์—…๋“ค์˜ ์ผ๊ฐ์€ ๊ธฐํ•˜๊ธ‰์ˆ˜์ ์œผ๋กœ ์Œ“์ผ ์ˆ˜๋ฐ–์— ์—†์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

5. ❄️ ์น ๋Ÿฌ์™€ ์ธํ”„๋ผ ์†”๋ฃจ์…˜: ์—์ด์น˜ํ”ผ์—์Šคํ”ผ(HPSP)์™€ ์œ ๋‹ˆ์…ˆ์˜ ์—ญํ• 

EUV ์žฅ๋น„๋Š” ์—„์ฒญ๋‚œ ์—ด์„ ๋ฐœ์ƒ์‹œํ‚ต๋‹ˆ๋‹ค. ์ด ์—ด์„ ์ œ์–ดํ•˜์ง€ ๋ชปํ•˜๋ฉด ์žฅ๋น„์˜ ์ •๋ฐ€๋„๊ฐ€ ๋–จ์–ด์ง€๊ณ  ๊ณ ์žฅ์ด ๋ฐœ์ƒํ•˜์ฃ . **์œ ๋‹ˆ์…ˆ**์€ ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ณต์ •์—์„œ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ์œ ํ•ด๊ฐ€์Šค๋ฅผ ์ •ํ™”ํ•˜๋Š” ์Šคํฌ๋Ÿฌ๋ฒ„์™€ ์˜จ๋„๋ฅผ ์กฐ์ ˆํ•˜๋Š” ์น ๋Ÿฌ ์‹œ์žฅ์˜ ๊ฐ•์ž์ž…๋‹ˆ๋‹ค. EUV ์ „์šฉ ๊ณ ์„ฑ๋Šฅ ์น ๋Ÿฌ๋ฅผ ๊ณต๊ธ‰ํ•˜๋ฉฐ ์žฅ๋น„ ์ธํ”„๋ผ์˜ ์•ˆ์ •์„ฑ์„ ์ฑ…์ž„์ง€๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

์—ฌ๊ธฐ์— ์ตœ๊ทผ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์žฅ๋น„์—…๊ณ„์˜ ํ˜œ์„ฑ์œผ๋กœ ๋– ์˜ค๋ฅธ **์—์ด์น˜ํ”ผ์—์Šคํ”ผ(HPSP)**๋ฅผ ์ฃผ๋ชฉํ•ด์•ผ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. HPSP๋Š” ์ „ ์„ธ๊ณ„ ์œ ์ผ์˜ '๊ณ ์•• ์ˆ˜์†Œ ์–ด๋‹๋ง' ๊ธฐ์ˆ ์„ ๋ณด์œ ํ•˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. EUV ๊ณต์ •์„ ๊ฑฐ์นœ ์นฉ์˜ ๊ณ„๋ฉด ๊ฒฐํ•จ์„ ์ˆ˜์†Œ๋กœ ์น˜์œ ํ•˜์—ฌ ์„ฑ๋Šฅ์„ ๋†’์—ฌ์ฃผ๋Š” ์žฅ๋น„์ธ๋ฐ, ๋ฏธ์„ธ ๊ณต์ •์œผ๋กœ ๊ฐˆ์ˆ˜๋ก ์ด ๊ธฐ์ˆ  ์—†์ด๋Š” ๊ณ ์„ฑ๋Šฅ ์นฉ์„ ๋งŒ๋“ค ์ˆ˜ ์—†์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋‚ด๊ฐ€ ์ƒ๊ฐํ–ˆ์„ ๋•Œ๋Š”, ๋…์ ์ ์ธ ๊ธฐ์ˆ  ์ง€์œ„๋ฅผ ๊ฐ€์ง„ HPSP์•ผ๋ง๋กœ EUV ์‹œ๋Œ€์˜ ์ง„์ •ํ•œ '์ˆจ์€ ๋Œ€์žฅ์ฃผ'๋ผ๊ณ  ํ‰๊ฐ€ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

❄️ EUV ๊ณต์ • ์ง€์› ์ธํ”„๋ผ ๋ฐ ํ•ต์‹ฌ ์žฅ๋น„

๊ธฐ์—…๋ช… ํ•ต์‹ฌ ์†”๋ฃจ์…˜ EUV ๊ธฐ์—ฌ๋„ ๋น„๊ณ  ๐Ÿ’ก
HPSP ๊ณ ์•• ์ˆ˜์†Œ ์–ด๋‹๋ง EUV ๊ณต์ • ํ›„ ์†Œ์ž ํŠน์„ฑ ๊ฐœ์„  ๊ธ€๋กœ๋ฒŒ ๋…์  ๊ธฐ์ˆ ๋ ฅ, ๋†’์€ ๋งˆ์ง„
์œ ๋‹ˆ์…ˆ ์น ๋Ÿฌ (Chiller) ์žฅ๋น„ ๋‚ด๋ถ€ ์˜จ๋„ ์ •๋ฐ€ ์ œ์–ด EUV ์ฑ”๋ฒ„ ํŠนํ™” ์˜จ๋„ ์œ ์ง€ ์‹œ์Šคํ…œ
GST ์Šคํฌ๋Ÿฌ๋ฒ„ (Scrubber) ์œ ํ•ด ๊ฐ€์Šค ์ •ํ™” ๋ฐ ๋ฐฐ์ถœ ์นœํ™˜๊ฒฝ ๊ณต์ • ํŠธ๋ Œ๋“œ ์ˆ˜ํ˜œ

์ธํ”„๋ผ ์žฅ๋น„์‚ฌ๋“ค์€ ํ™”๋ คํ•˜์ง€๋Š” ์•Š์ง€๋งŒ, ๊ณต์žฅ์ด ์ง€์–ด์ง€๊ณ  ์žฅ๋น„๊ฐ€ ์ž…๊ณ ๋  ๋•Œ ๋ฐ˜๋“œ์‹œ ๋“ค์–ด๊ฐ€์•ผ ํ•˜๋Š” 'ํ•„์ˆ˜ ๋‚ด์žฌ ์ž์‚ฐ'์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ํŠนํžˆ ์‚ผ์„ฑ์ „์ž์˜ ํ‰ํƒ ํŒน๊ณผ ๋ฏธ๊ตญ ํ…Œ์ผ๋Ÿฌ ํŒน ์ฆ์„ค์€ ์œ ๋‹ˆ์…ˆ๊ณผ ๊ฐ™์€ ์ธํ”„๋ผ ๊ธฐ์—…๋“ค์—๊ฒŒ ์ง€์†์ ์ธ ์ˆ˜์ฃผ ๊ธฐํšŒ๋ฅผ ์ œ๊ณตํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. EUV๋ผ๋Š” ๊ฑฐ๋Œ€ํ•œ ์—”์ง„์ด ์›ํ™œํ•˜๊ฒŒ ๋Œ์•„๊ฐ€๊ฒŒ ๋งŒ๋“œ๋Š” ๋ƒ‰๊ฐ ์žฅ์น˜์™€ ์ •ํ™” ์‹œ์Šคํ…œ์€ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ƒํƒœ๊ณ„์˜ ๋“ ๋“ ํ•œ ๋ฟŒ๋ฆฌ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

6. ๐Ÿ“ˆ ํˆฌ์ž ์ „๋žต: 2026๋…„ EUV ์–‘์‚ฐ ๋ณธ๊ฒฉํ™” ์‚ฌ์ดํด์„ ์„ ์ ํ•˜๋Š” ๋ฒ•

์ง€๊ธˆ๊นŒ์ง€ EUV ๊ตญ์‚ฐํ™”์˜ ํ•ต์‹ฌ ์ฃผ์—ญ๋“ค์„ ์‚ดํŽด๋ณด์•˜์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๊ทธ๋ ‡๋‹ค๋ฉด ํˆฌ์ž์ž๋Š” ์–ด๋–ค ํƒ€์ด๋ฐ์— ์ด ํŒŒ๋„๋ฅผ ํƒ€์•ผ ํ• ๊นŒ์š”? ๋‚ด๊ฐ€ ์ƒ๊ฐํ–ˆ์„ ๋•Œ๋Š”, ์ฃผ๊ฐ€๋Š” ๋Š˜ ์‹ค์ ๋ณด๋‹ค ํ•œ๋ฐœ ์•ž์„œ ์›€์ง์ด์ง€๋งŒ ๊ตญ์‚ฐํ™” ์ข…๋ชฉ๋“ค์€ '๊ณ ๊ฐ์‚ฌ์˜ ์ฑ„ํƒ ๊ณต์‹œ'๊ฐ€ ๊ฐ€์žฅ ๊ฐ•๋ ฅํ•œ ํŠธ๋ฆฌ๊ฑฐ๊ฐ€ ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์‚ผ์„ฑ์ „์ž๋‚˜ SKํ•˜์ด๋‹‰์Šค๊ฐ€ ํŠน์ • ๊ตญ์‚ฐ ์†Œ์žฌ๋‚˜ ์žฅ๋น„๋ฅผ ๋Œ€๋Ÿ‰์œผ๋กœ ๊ตฌ๋งคํ•˜๊ธฐ ์‹œ์ž‘ํ–ˆ๋‹ค๋Š” ๋‰ด์Šค๊ฐ€ ๋‚˜์˜ค๋Š” ์ˆœ๊ฐ„, ๋ฐธ๋ฅ˜์—์ด์…˜์˜ ์ƒ๋‹จ์ด ๋šซ๋ฆฌ๊ฒŒ ๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

๋˜ํ•œ 'ํ•˜์ด๋ธŒ๋ฆฌ๋“œ ๋ณธ๋”ฉ'๊ณผ 'ํ•˜์ด-NA EUV'๋ผ๋Š” ์ƒˆ๋กœ์šด ๊ธฐ์ˆ  ํ‘œ์ค€์ด ๋‹ค๊ฐ€์˜ค๊ณ  ์žˆ๋‹ค๋Š” ์ ์„ ์žŠ์ง€ ๋งˆ์„ธ์š”. ๊ธฐ์ˆ ์ด ๋ฐ”๋€” ๋•Œ๋งˆ๋‹ค ๊ธฐ์กด์˜ 1๋“ฑ์ด ๋ฐ”๋€Œ๊ธฐ๋„ ํ•˜๊ณ , ์ƒˆ๋กœ์šด ๊ฐ•์ž๊ฐ€ ๋“ฑ์žฅํ•˜๊ธฐ๋„ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ง€๊ธˆ ๋‹น์žฅ์€ ์—์Šค์•ค์—์Šคํ…์ด๋‚˜ ๋™์ง„์Ž„๋ฏธ์ผ์ด ์ฃผ๋ชฉ๋ฐ›์ง€๋งŒ, ๋‹ค์Œ ์„ธ๋Œ€ ๊ธฐ์ˆ ์ธ ๋ฌด๊ธฐ๋ฌผ PR์ด๋‚˜ EUV ์ „์šฉ ์„ธ์ • ์žฅ๋น„์—์„œ ์•ž์„œ๋‚˜๊ฐ€๋Š” ๊ธฐ์—…์„ ๋ฏธ๋ฆฌ ์ฐพ์•„๋‚ด๋Š” ํ˜œ์•ˆ์ด ํ•„์š”ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ๋ถ„์‚ฐ ํˆฌ์ž์™€ ํ•จ๊ป˜ ๊ฐ ๊ธฐ์—…์˜ R&D ๋น„์šฉ ์ง‘ํ–‰ ์ถ”์ด๋ฅผ ์œ ์‹ฌํžˆ ์‚ดํŽด๋ณด์‹œ๊ธฐ ๋ฐ”๋ž๋‹ˆ๋‹ค.

✅ EUV ์ˆ˜ํ˜œ์ฃผ ํˆฌ์ž ์‹œ ๋ฐ˜๋“œ์‹œ ์ฒดํฌํ•ด์•ผ ํ•  3์›์น™

์›์น™ ์ฒดํฌ๋ฆฌ์ŠคํŠธ ํˆฌ์ž ํŒ ๐Ÿ›ก️
๊ธฐ์ˆ  ๋…์ ๋ ฅ HPSP์ฒ˜๋Ÿผ ๋Œ€์ฒด ๋ถˆ๊ฐ€๋Šฅํ•œ ๊ธฐ์ˆ ์ธ๊ฐ€? ๋†’์€ ์˜์—…์ด์ต๋ฅ (30% ์ด์ƒ) ์—ฌ๋ถ€ ํ™•์ธ
์–‘์‚ฐ ์ด๋ ฅ ์‹ค์ œ ์‚ผ์„ฑ/ํ•˜์ด๋‹‰์Šค ๋ผ์ธ ํˆฌ์ž… ๊ฒฝ๋ ฅ ์‚ฌ์—… ๋ณด๊ณ ์„œ์˜ ์ฃผ์š” ๋งค์ถœ์ฒ˜ ํ™•์ธ
๊ธ€๋กœ๋ฒŒ ํ™•์žฅ์„ฑ ์ธํ…”, TSMC๋กœ๋„ ์ˆ˜์ถœ์ด ๊ฐ€๋Šฅํ•œ๊ฐ€? ํ•ด์™ธ ์ „์‹œํšŒ ์ฐธ๊ฐ€ ๋ฐ ๊ธ€๋กœ๋ฒŒ ๊ณ ๊ฐ์‚ฌ ๊ณต์‹œ

๊ฒฐ๋ก ์ ์œผ๋กœ EUV ๊ตญ์‚ฐํ™”๋Š” ๋‹จ์ˆœํžˆ '์ผ๋ณธ ์ด๊ธฐ๊ธฐ'๋ฅผ ๋„˜์–ด ํ•œ๊ตญ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฐ์—…์˜ ์งˆ์  ๋„์•ฝ์„ ์˜๋ฏธํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ฃผ๊ฐ€๋Š” ๋•Œ๋กœ ๊ฑฐ์น ๊ฒŒ ์ถœ๋ ์ด๊ฒ ์ง€๋งŒ, ์‚ฐ์—…์˜ ๋ฐฉํ–ฅ์„ฑ์€ ๋ช…ํ™•ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์ธ๋ฅ˜๊ฐ€ ๋” ์ž‘๊ณ  ๋” ๊ฐ•๋ ฅํ•œ ์ธ๊ณต์ง€๋Šฅ์„ ์›ํ•˜๋Š” ํ•œ, ๊ทธ ์ง€๋Šฅ์„ ์กฐ๊ฐํ•ด๋‚ด๋Š” EUV ๊ธฐ์ˆ ์˜ ๊ฐ€์น˜๋Š” ์šฐ์ƒํ–ฅํ•  ๊ฒƒ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์˜ค๋Š˜ ์†Œ๊ฐœํ•œ ๋ฐธ๋ฅ˜์ฒด์ธ ๋ฆฌ์ŠคํŠธ๋ฅผ ๋ฐ”ํƒ•์œผ๋กœ, ์—ฌ๋Ÿฌ๋ถ„๋งŒ์˜ '๋…ธํ›„ ์—ฐ๊ธˆ ๋ฐ˜๋„์ฒด ํฌํŠธํด๋ฆฌ์˜ค'๋ฅผ ์ฐจ๋ถ„ํžˆ ์„ค๊ณ„ํ•ด ๋ณด์‹œ๊ธธ ์‘์›ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

7. ❓ EUV ๋…ธ๊ด‘์žฅ๋น„ ๊ตญ์‚ฐํ™” ๊ด€๋ จ ์ž์ฃผ ๋ฌป๋Š” ์งˆ๋ฌธ(FAQ)

Q1. EUV ์žฅ๋น„ ์ž์ฒด๋ฅผ ๊ตญ์‚ฐํ™”ํ•˜๋Š” ๊ธฐ์—…์€ ์—†๋‚˜์š”?
A1. ์•„์‰ฝ๊ฒŒ๋„ ๋…ธ๊ด‘ ์žฅ๋น„ ๋ณธ์ฒด๋Š” ๋„ค๋œ๋ž€๋“œ์˜ ASML์ด ๋…์ ํ•˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ˆ˜๋งŒ ๊ฐœ์˜ ๋ถ€ํ’ˆ๊ณผ ๊ด‘ํ•™ ๊ธฐ์ˆ ์˜ ์ง‘์•ฝ์ฒด๋ผ ๋‹จ๊ธฐ๊ฐ„์— ๋ณธ์ฒด๋ฅผ ๋งŒ๋“œ๋Š” ๊ฒƒ์€ ์–ด๋ ต์ง€๋งŒ, ํ•œ๊ตญ ๊ธฐ์—…๋“ค์€ ๊ทธ ์•ˆ์— ๋“ค์–ด๊ฐ€๋Š” ํ•ต์‹ฌ ์†Œ๋ชจํ’ˆ(ํŽ ๋ฆฌํด, ๋งˆ์Šคํฌ), ์†Œ์žฌ(PR), ๋ถ€๋Œ€ ์žฅ๋น„(์น ๋Ÿฌ, ์–ด๋‹๋ง)๋ฅผ ๊ตญ์‚ฐํ™”ํ•˜์—ฌ ์ƒํƒœ๊ณ„๋ฅผ ์žฅ์•…ํ•˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

Q2. ์™œ EUV ๊ณต์ •์ด HBM๊ณผ ๊ด€๋ จ์ด ์žˆ๋‚˜์š”?
A2. ์ตœ์‹  HBM(HBM3E, HBM4)์˜ ๋ฒ ์ด์Šค๊ฐ€ ๋˜๋Š” D๋žจ ์นฉ์ด 10๋‚˜๋…ธ๊ธ‰ ์ดˆ๋ฏธ์„ธ ๊ณต์ •์—์„œ ์ƒ์‚ฐ๋˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์นฉ์˜ ์„ฑ๋Šฅ์„ ๊ทน๋Œ€ํ™”ํ•˜๊ณ  ์ „๋ ฅ ์†Œ๋ชจ๋ฅผ ์ค„์ด๊ธฐ ์œ„ํ•ด D๋žจ ์ œ์กฐ์—๋„ EUV๊ฐ€ ํ•„์ˆ˜์ ์œผ๋กœ ์“ฐ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

Q3. ์‚ผ์„ฑ์ „์ž๊ฐ€ ASML ์ง€๋ถ„์„ ํŒ ๊ฒƒ์€ ์•…์žฌ์ธ๊ฐ€์š”?
A3. ํˆฌ์ž ์ž๊ธˆ ํ™•๋ณด๋ฅผ ์œ„ํ•œ ์ „๋žต์  ๋งค๊ฐ์ผ ๋ฟ, ํŒŒํŠธ๋„ˆ์‹ญ์—๋Š” ๋ณ€ํ•จ์ด ์—†์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์˜คํžˆ๋ ค ์‚ผ์„ฑ์€ ASML๊ณผ ํ•œ๊ตญ์— ๊ณต๋™ R&D ์„ผํ„ฐ๋ฅผ ์ง“๊ธฐ๋กœ ํ•˜๋Š” ๋“ฑ ํ˜‘๋ ฅ์„ ๊ฐ•ํ™”ํ•˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

Q4. ํŽ ๋ฆฌํด ๊ตญ์‚ฐํ™”๊ฐ€ ์™œ ๊ทธ๋ ‡๊ฒŒ ํž˜๋“ ๊ฐ€์š”?
A4. EUV๋Š” ๋ชจ๋“  ๋ฌผ์งˆ์— ํก์ˆ˜๋˜๋Š”๋ฐ, ํŽ ๋ฆฌํด์€ ๋น›์„ ํ†ต๊ณผ์‹œ์ผœ์•ผ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์•„์ฃผ ์–‡์œผ๋ฉด์„œ๋„(๋‚˜๋…ธ๋ฏธํ„ฐ ๋‘๊ป˜) ๋œจ๊ฑฐ์šด ์—ด์„ ๊ฒฌ๋ŽŒ์•ผ ํ•˜๊ณ , ๋น›์˜ ํˆฌ๊ณผ์œจ์ด 90% ์ด์ƒ์ด์–ด์•ผ ํ•˜๋ฏ€๋กœ ์†Œ์žฌ ๊ณตํ•™์˜ ์ •์ ์ด๋ผ ๋ถˆ๋ฆฝ๋‹ˆ๋‹ค.

Q5. ๋Œ€์žฅ์ฃผ ๋”ฑ ํ•˜๋‚˜๋งŒ ๊ผฝ๋Š”๋‹ค๋ฉด ๋ฌด์—‡์ธ๊ฐ€์š”?
A5. ์‹œ์žฅ ์ƒํ™ฉ์— ๋”ฐ๋ผ ๋‹ค๋ฅด์ง€๋งŒ, ๊ธฐ์ˆ ์  ๋…๋ณด์„ฑ๊ณผ ์ด์ต๋ฅ  ๋ฉด์—์„œ๋Š” HPSP๊ฐ€, ๊ตญ์‚ฐํ™”์˜ ์ƒ์ง•์„ฑ๊ณผ ์‹ค์งˆ ๊ณต๊ธ‰๋Ÿ‰ ๋ฉด์—์„œ๋Š” ๋™์ง„์Ž„๋ฏธ์ผ์ด ๊ฐ€์žฅ ๊ฐ•๋ ฅํ•œ ํ›„๋ณด์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

Q6. EUV ํˆฌ์ž๋ฅผ ์‹œ์ž‘ํ•˜๋ ค๋Š”๋ฐ ์–ด๋–ค ๋‰ด์Šค๋ถ€ํ„ฐ ๋ด์•ผ ํ• ๊นŒ์š”?
A6. ์‚ผ์„ฑ์ „์ž์˜ '2๋‚˜๋…ธ ๋กœ๋“œ๋งต' ๋ฐœํ‘œ์™€ ASML์˜ 'ํ•˜์ด-NA EUV' ์žฅ๋น„ ์ž…๊ณ  ํ˜„ํ™ฉ์„ ๊ฐ€์žฅ ๋จผ์ € ์ฒดํฌํ•˜์„ธ์š”. ์žฅ๋น„๊ฐ€ ๋“ค์–ด์˜ค๋ฉด ๊ด€๋ จ ์†Œ๋ชจํ’ˆ๊ณผ ์†Œ์žฌ ์ˆ˜์š”๊ฐ€ ๋’ค๋”ฐ๋ฆ…๋‹ˆ๋‹ค.

Q7. ์†Œ์žฌ์ฃผ์ธ ๊ฒฝ์ธ์–‘ํ–‰๋„ EUV ๊ด€๋ จ์ฃผ์ธ๊ฐ€์š”?
A7. ๋„ค, ํฌํ† ๋ ˆ์ง€์ŠคํŠธ์˜ ์›์žฌ๋ฃŒ์ธ ๊ด‘๊ฐœ์‹œ์ œ ๋“ฑ์„ ์ƒ์‚ฐํ•˜๋ฏ€๋กœ ๋ฐธ๋ฅ˜์ฒด์ธ์˜ ํ•˜๋‹จ์— ์œ„์น˜ํ•œ ์ˆ˜ํ˜œ์ฃผ๋กœ ๋ถ„๋ฅ˜๋ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

Q8. ์ค‘๊ตญ์˜ ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ตด๊ธฐ๊ฐ€ ์œ„ํ˜‘์ด ๋˜์ง€๋Š” ์•Š์„๊นŒ์š”?
A8. ๋ฏธ๊ตญ์ด ์ค‘๊ตญ์œผ๋กœ์˜ EUV ์žฅ๋น„ ๋ฐ˜์ž…์„ ์ฒ ์ €ํžˆ ๋ง‰๊ณ  ์žˆ์–ด, ์ตœ์ฒจ๋‹จ EUV ๊ณต์ • ๋ถ„์•ผ์—์„œ๋Š” ํ•œ๊ตญ ๊ธฐ์—…๋“ค์ด ์••๋„์ ์ธ ๊ฒฉ์ฐจ๋ฅผ ์œ ์ง€ํ•˜๊ณ  ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

Q9. ๊ณ ํ™˜์œจ ์ƒํ™ฉ์ด ๊ตญ์‚ฐํ™” ๊ธฐ์—…์— ์œ ๋ฆฌํ•œ๊ฐ€์š”?
A9. ๋„ค, ํ•ด์™ธ ์žฅ๋น„ ๋„์ž… ๋น„์šฉ์ด ๋น„์‹ธ์งˆ์ˆ˜๋ก ์ œ์กฐ์‚ฌ๋Š” ๊ตญ์‚ฐ ์žฅ๋น„์™€ ์†Œ์žฌ๋ฅผ ์จ์„œ ์›๊ฐ€๋ฅผ ์ ˆ๊ฐํ•˜๋ ค๋Š” ์œ ์ธ์ด ๊ฐ•ํ•ด์ง€๋ฏ€๋กœ ๊ตญ์‚ฐํ™” ๊ธฐ์—…์—๊ฒ ์šฐํ˜ธ์ ์ธ ํ™˜๊ฒฝ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

Q10. ์žฅ๊ธฐ ํˆฌ์ž๋กœ ์ ํ•ฉํ•œ ์„นํ„ฐ์ธ๊ฐ€์š”?
A10. ๊ทธ๋ ‡์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋ฐ˜๋„์ฒด ๋ฏธ์„ธํ™”๋Š” ๋ฉˆ์ถœ ์ˆ˜ ์—†๋Š” ํŠธ๋ Œ๋“œ์ด๋ฉฐ, EUV๋Š” ํ–ฅํ›„ 10๋…„ ์ด์ƒ ํ‘œ์ค€ ๊ณต์ •์œผ๋กœ ๋‚จ์„ ๊ธฐ์ˆ ์ด๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ๊ธด ํ˜ธํก์œผ๋กœ ํˆฌ์žํ•˜๊ธฐ์— ๋งค์šฐ ๋งค๋ ฅ์ ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

[๐Ÿ“Œ๋ฉด์ฑ…์กฐํ•ญ] ๋ณธ ์ฝ˜ํ…์ธ ๋Š” EUV ๋…ธ๊ด‘ ๊ณต์ • ๋ฐ ๊ด€๋ จ ๊ธฐ์—…์— ๋Œ€ํ•œ ์ •๋ณด ์ œ๊ณต์„ ๋ชฉ์ ์œผ๋กœ ์ž‘์„ฑ๋˜์—ˆ์œผ๋ฉฐ, ํŠน์ • ์ข…๋ชฉ์— ๋Œ€ํ•œ ๋งค์ˆ˜ ๋˜๋Š” ๋งค๋„๋ฅผ ๊ถŒ์œ ํ•˜์ง€ ์•Š์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋ชจ๋“  ํˆฌ์ž ๊ฒฐ์ •์˜ ์ฑ…์ž„์€ ํˆฌ์ž์ž ๋ณธ์ธ์—๊ฒŒ ๊ท€์†๋˜๋ฉฐ, ์ฃผ์‹ ํˆฌ์ž๋Š” ์›๊ธˆ ์†์‹ค์˜ ์œ„ํ—˜์ด ๋”ฐ๋ฆ…๋‹ˆ๋‹ค. ๋ณธ ์•„ํ‹ฐํด์€ ์ž‘์„ฑ ์‹œ์ ์˜ ๋ฐ์ดํ„ฐ๋ฅผ ๋ฐ”ํƒ•์œผ๋กœ ์ž‘์„ฑ๋˜์–ด ํ–ฅํ›„ ์‹œ์žฅ ์ƒํ™ฉ์— ๋”ฐ๋ผ ๋‚ด์šฉ์ด ๋‹ฌ๋ผ์งˆ ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์‹ค์ œ ํˆฌ์ž ์ „ ๋ฐ˜๋“œ์‹œ ์ „๋ฌธ๊ฐ€์™€ ์ƒ๋‹ดํ•˜์‹œ๊ธฐ ๋ฐ”๋ž๋‹ˆ๋‹ค.